什么是衍射光學(xué)元件？
瀏覽次數(shù)：583 發(fā)布于：2023-04-16
在許多平板顯示工藝中，有源屏幕層通常非常薄，使得加工極具挑戰(zhàn)性。為了解決這個問題，屏幕層通常用一種特殊的粘合劑粘合到載體晶片上，以便于進行加工。在經(jīng)過粘合和處理之后，必須通過化學(xué)/機械工藝或者越來越普遍的激光剝離技術(shù)將有源層從載體晶片上剝離。
與其他方法相比，激光紫外剝離更加清潔、更經(jīng)濟、更環(huán)保，正迅速成為平板顯示器生產(chǎn)中優(yōu)先的剝離方法。通常，在不損壞屏幕層的情況下，在晶片上掃描出一條細長的紫外激光能量線，以實現(xiàn)高速率和良好的剝離均勻性。這條線的厚度為20-50 μm，長度為100 mm以上，需要使用大型圓柱形光學(xué)元件，因為這種光學(xué)元件難以生產(chǎn)、安裝和對齊。
通過使用單個定制衍射光學(xué)元件深圳市華聯(lián)歐國際貿(mào)易有限公司是歐美工業(yè)備品備件一站式服務(wù)商，貨源充足，型號齊全，質(zhì)量可靠，售后服務(wù)佳。專業(yè)原裝行貨，正品保證，歡迎來電咨詢!所有產(chǎn)品售后有質(zhì)保，并且有終身免費技術(shù)指導(dǎo)。我們有專業(yè)的客服團隊，24小時進行服務(wù)。下面是深圳華聯(lián)歐小編精心為大家推薦的產(chǎn)品科普一下什么是衍射光學(xué)元件？，如果您喜歡可以繼續(xù)閱讀詳細瀏覽一下去看看了解一下吧，關(guān)注收藏我們網(wǎng)址，每天為大家推送更多的干貨!
在許多平板顯示工藝中，有源屏幕層通常非常薄，使得加工極具挑戰(zhàn)性。為了解決這個問題，屏幕層通常用一種特殊的粘合劑粘合到載體晶片上，以便于進行加工。在經(jīng)過粘合和處理之后，必須通過化學(xué)/機械工藝或者越來越普遍的激光剝離技術(shù)將有源層從載體晶片上剝離。
與其他方法相比，激光紫外剝離更加清潔、更經(jīng)濟、更環(huán)保，正迅速成為平板顯示器生產(chǎn)中優(yōu)先的剝離方法。通常，在不損壞屏幕層的情況下，在晶片上掃描出一條細長的紫外激光能量線，以實現(xiàn)高速率和良好的剝離均勻性。這條線的厚度為20-50 μm，長度為100 mm以上，需要使用大型圓柱形光學(xué)元件，因為這種光學(xué)元件難以生產(chǎn)、安裝和對齊。
通過使用單個定制衍射光學(xué)元件（DOE）的替代方法可以與單模紫外激光器和標準F-theta掃描透鏡結(jié)合使用，以在長達100 mm的線上生成統(tǒng)一的集成強度掃描線。在我們深入研究這一點之前，先講一些衍射光學(xué)元件的基礎(chǔ)知識以及它們是如何產(chǎn)生的。
衍射光學(xué)元件是一種透射式相位掩模，它可以對通過它的激光的波前施加任意相位。這一相位改變了激光遠場的光束強度，使衍射光學(xué)元件（通常稱為衍射透鏡）能夠?qū)馐M行整形或分束。定制的衍射光學(xué)元件可以設(shè)計成在系統(tǒng)的焦點（即遠場）處提供任何期望的強度分布，例如，包括分束和平頂線成形功能的組合。
衍射光學(xué)元件的市場非常多樣化，因為它們用于許多激光應(yīng)用，例如材料加工、美容醫(yī)學(xué)、計量學(xué)、AR/VR等。
衍射光學(xué)元件的設(shè)計采用先進的計算機輔助方法，例如迭代傅里葉變換法，優(yōu)化定制衍射光學(xué)元件的相位，從而產(chǎn)生所需的強度分布。在相位設(shè)計之后，通過半導(dǎo)體方法生產(chǎn)定制的衍射光學(xué)元件，其中相位輪廓被光刻寫入和蝕刻。
生產(chǎn)完成后，必須對工業(yè)和商業(yè)應(yīng)用的衍射光學(xué)元件進行單獨測試，以驗證其性能。因為它們通常用于高價值、高功率的激光系統(tǒng)，其中不合格的元件可能會損壞其他系統(tǒng)的組件。該測試通過光學(xué)和地形構(gòu)造兩種方式進行（以驗證產(chǎn)生的相位是否符合計劃）。
定制衍射光學(xué)元件作為配置柱形光學(xué)元件的剝離直線發(fā)生器
通過使用定制的衍射光學(xué)元件和F-theta聚焦透鏡，可以產(chǎn)生高度均勻的平頂紫外線。但是，制造公差限制了衍射光學(xué)元件光束整形器的角度，因此對于所有市售的掃描透鏡，這樣的線不超過20 mm長。克服這一限制的有效方法是添加另一個衍射光學(xué)元件，衍射分束器，以微小的角度旋轉(zhuǎn)，使得分割線以類似階梯的方式排列，通過旋轉(zhuǎn)角度控制重疊。
通過調(diào)整定制衍射光學(xué)元件的旋轉(zhuǎn)，可以精確地控制拼接，從而在F-theta的整個視場上產(chǎn)生均勻的掃描線，即大于100 mm的范圍。
帶有單個定制 DOE 和 F-theta 透鏡的激光剝離線的階梯式概念
一旦找到正確的角度，這兩種衍射光學(xué)元件就可以在設(shè)計中組合成一個單獨的定制衍射光學(xué)元件，從而產(chǎn)生線形階梯。因此，可以通過使用單模UV激光器、單個衍射光學(xué)元件和F-theta透鏡來生成100 mm的高均勻度線，而無需大型高質(zhì)量的圓柱形光學(xué)元件和變形系統(tǒng)。
答：激光剝離是一種工藝，通過向載體晶片施加高激光強度的激光紫外線，將薄層從載體晶片上分離出來，通常形狀為長度達到100 mm或以上，厚度為（< 50 μm）的更長的細線，需要大型柱面透鏡。
答：通過使用具有線光束成形器和多點衍射分束器的單模紫外激光器，并使用標準F-theta透鏡聚焦所得光束，可能產(chǎn)生超過100 mm長度和衍射受限厚度的拼接線，而無需任何柱面光學(xué)元件。一旦找到實現(xiàn)拼接的正確旋轉(zhuǎn)，這兩個衍射光學(xué)元件就可以組合成一個單一的定制衍射光學(xué)元件。
答：激光剝離衍射光學(xué)元件是一種透明窗口片狀的光學(xué)元件，通過在不同區(qū)域產(chǎn)生可變延遲來控制激光束的相位。這是通過在衍射光學(xué)元件表面的不同點將玻璃蝕刻到不同的高度來實現(xiàn)的。
問：如何設(shè)計、生產(chǎn)和測試DOE？
答：每個定制衍射光學(xué)元件的設(shè)計都是使用基于計算機的工具完成的，這些工具定義了較佳相位輪廓，并考慮了生產(chǎn)公差。然后使用半導(dǎo)體方法產(chǎn)生相位，并且使用自動光學(xué)設(shè)置以及拓撲測量來測試該元件。
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