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1、美國MKS電容壓力計DA02B系列介紹
MKS Baratron®電容壓力計具有高精度和可重復性，對氣體成分不敏感，結構緊湊，并且易于與大多數過程工具連接。他們幾乎完全使用鎳基合金制造隔膜壓力表，例如Inconel®、Incoloy®等。當材料與工藝相匹配時，這使得它們具有高度的耐腐蝕性。他們的傳感器在組裝前經過完全焊接和100%泄漏檢查。如果隔膜發生極其罕見的故障，過程氣體將完全包含在傳感器內，防止逸出到外部環境。沒有其他壓力或真空計能夠提供這種安全級別。他們的高性能Baratron®電容壓力計能夠以高精度和高重復性測量獨立于氣體的絕對壓力。精度被指定為準確輸出信號的讀數的百分比，即使在刻度的低端也是如此。
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2、美國MKS電容壓力計DA02B系列概述
DA02B EtherCAT®Baratron®電容壓力計繼續將高性能發展到網絡系統中，使用行業標準EtherCAT數字通信連接到復雜的過程工具。EtherCAT Baratron壓力計基于經過驗證的配備以太網的627C和628C Baratron產品，符合當前的SEMI®EtherCAT通用設備配置文件，專為在先進處理系統中使用而設計。
3、美國MKS電容壓力計DA02B系列特點
①未加熱或控制至45°C、80°C或100°C
②EtherCAT®通信和與壓力成比例的0-10 VDC輸出
③滿量程測量范圍為0.1至1000 Torr（13.3 Pa至133.3 kPa）
④提供標準或蝕刻傳感器
⑤全焊接Inconel和Incoloy®傳感器具有極高的耐腐蝕性
4、美國MKS電容壓力計DA02B系列規格
①傳感器溫度：控制至45°C、80°C或100°C
②滿量程壓力范圍：0.1、0.25、1、2、10、20、50、100、200、500和1000托（和公制當量）
③解決：0.001%滿量程
④通訊協議：EtherCAT®
⑤模擬輸出：0-10 VDC輸入小于10Ω負載
⑥模擬連接器：15針D型超小型公頭
⑦數字連接器：兩(2)個RJ45母插座，用于輸入信號和網絡信號
⑧跨度溫度系數：0.02%讀數/°C
⑨超壓限制：45磅/平方英寸（310千帕）
5、美國MKS電容壓力計DA02B系列特征
（1）Baratron®電容壓力計技術
電容壓力計是機電壓力計，可以測量壓力和真空。電容計將薄隔膜中的壓力調制運動轉換成與壓力成比例的電信號。壓力傳感器是一個薄隔膜，暴露在通過入口管測量的壓力或真空中。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過程和參考腔之間的壓力差coodyak使隔膜輕微偏轉，改變隔膜和電極之間的距離。該距離的變化會導致隔膜和電極之間的電容變化，從而產生與壓力變化成比例的電信號。由于電容信號的差異是由壓力計內的物理變化產生的，而不是由氣體特性的變化產生的，因此電容壓力計的壓力測量與被測氣體的成分無關。
（2）讀數準確率百分比
精度指定為讀數的百分比，而不是滿量程，如某些性能較低的設備中所見。讀數精度百分比在最需要的壓力范圍較低范圍內為您提供更準確的輸出信號。
（3）內部加熱至45°C、80°C或100°C
這些電容壓力計的溫度控制為45°C、80°C或100°C，以提高精度。未加熱版本會暴露在環境溫度變化的環境中，這會降低傳感器的精度。這些設備將傳感器封裝在一個保持在高于環境溫度的恒定溫度的體積中。該解決方案通過減少或消除壓力計內的過程污染，提高了壓力計的準確性和可重復性，并降低了儀器漂移。建議將加熱壓力計用于需要最大精度和可重復性、在環境溫度以上運行的應用以及使用熱氣體的過程。
（4）絕對壓力測量
這些Baratron®壓力傳感器以真空為參考進行絕對壓力測量。應用包括：真空爐、水果和蔬菜冷凍干燥、氣體激光器、汽車部件測試、瓶子涂層和真空蒸餾。
（5）Inconel®和Incoloy®結構潤濕表面
這些壓力傳感器采用Inconel®和Incoloy®鎳合金結構的壓力傳感器，使其能夠在幾乎任何化學環境（包括鹵素、去離子水和蒸汽以及臭氧）中無損壞地運行。傳感器完全焊接，沒有中間釬焊或連接材料。
（6）0至10 VDC比例模擬輸出
這些Baratron®電容壓力計具有與壓力呈線性關系的高電平0-10 VDC模擬輸出信號。該模擬輸出可與MKS壓力控制器、MKS電源/顯示儀器或滿足這些要求的任何儀器連接。
（7）EtherCAT®通信
這些支持e-Baratron EtherCAT®的電容壓力計繼續將高性能發展到網絡系統中，使用行業標準EtherCAT數字通信連接到復雜的過程工具。EtherCAT e-Baratron壓力計基于經過驗證的配備以太網的627C和628C e-Baratron產品，符合當前的SEMI®EtherCAT通用設備規范，設計用于先進處理系統。
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