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MKS是全球最著名的先進生產工藝控制設備供應商之一，其產品廣泛地應用于各種半導體器件、平板顯示器、太陽能電池、LED、光學儲存介質、玻璃鍍膜、光電產品等生產設備及制藥和醫學成像設備。MKS前瞻性的創新開發，推動其產品一直處于全球技術領先地位。深圳市華聯歐國際貿易有限公司專門經銷美國和歐洲等國家的工業產品，經營產品類別和品牌多樣齊全，方便用戶可以一站式采購。特別的那些不好尋找的歐美工業產品備件。公司多年來不斷積累拓展和優化供應渠道，與品牌供應商建立了良好的合作關系，所以拿到的價格也非常優勢。以下是我們為您介紹的《美國MKS真空計_MKS真空計901P-11030》相關信息。
1、美國MKS真空計概述
美國MKS真空計901P-11030 Micro Pirani-Piezo Loadlock真空傳感器結合了Piezo和MicroPirani™傳感器技術，與傳統熱導計相比，精度、穩定性、可重復性和響應時間顯著提高。它具有0.00001-1000 Torr壓力測量范圍、大氣切換功能以及尺寸為NW16 ISO-KF的法蘭。它使用RS232數字通信接口來設置傳感器參數并提供實時壓力測量。901P專為真空負載鎖內的壓力測量而設計。它具有從大氣到10-5 Torr的絕對壓力測量和大氣切換功能，能夠取代負載鎖上的多個壓力測量設備。與傳統負載室設計中使用的壓力表相比，901P精確的大氣壓力測量可以通過更快的循環時間來提高負載室性能，并防止負載室受到大氣污染。
2、美國MKS真空計功能
美國MKS真空計901P結合了絕壓和差壓測量技術，提供卓越的性能和功能。901P提供獲得專利的、獨立于氣體的絕對壓力測量（50-1000 Torr），并且比熱導率傳感器具有更高的精度。與傳統的皮拉尼真空計不同，MicroPirani™中的傳感器元件由一毫米見方的硅芯片制成，允許在非常小的體積內進行測量。由于采用了MicroPirani™技術，901P可以讀取低至10-5 Torr的壓力，比標準皮拉尼傳感器低二十個百分點。傳感器設計最大限度地減少了對流的影響，因此901P可以以任何方向安裝，而不會影響精度。
3、美國MKS真空計原理
美國MKS真空計901P還具有1VDC/十倍頻的模擬壓力輸出，可連接到外部模擬設備以進行壓力讀數或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過數字用戶界面選擇。輔助可選模擬輸出用于提供壓差測量。901P具有多達三個機械繼電器，可用于過程控制，例如聯鎖隔離閥和真空泵。每個設定點均可分配給差分壓電測量或組合絕對MicroPirani™/壓電測量。901P緊湊的設計顯著減少了真空計占用的空間。
4、美國MKS真空計規格
①絕對測量范圍：1.0 x 10-5至1500托
②差分測量范圍：-760至+760托
③數字通訊：RS232
④類型：真空傳感器
⑤密封材料：氟橡膠
⑥美國MKS真空計外殼：標準
⑦電氣連接器：15針、高密度、D-sub公頭
⑧美國MKS真空計界面：RS232/模擬
⑨配件類型：NW16 ISO-KF
⑩美國MKS真空計安裝方向：任何
5、美國MKS真空計技術參數
①美國MKS真空計模擬輸出：1-9 VDC
②美國MKS真空計模擬輸出分辨率：16位
③可選模擬輸出：25 VDC=0 Torr，1 VDC/十倍頻程
④繼電器觸點額定值：1 A 30VAC/DC，電阻式
⑤美國MKS真空計繼電器響應最長：100毫秒
⑥電源要求：9-30 VDC，最大<1.2瓦
⑦壓電微分重復性：-760至10 Torr±1%讀數
⑧壓電差動零穩定性：滿量程的±0.1%（滿量程=760 Torr）
⑨超壓限制：1500托（絕對）
⑩暴露的材料：硅、SiO2、Si3N4、金、低釋氣環氧樹脂、304不銹鋼、Viton
?電子外殼及法蘭：304不銹鋼
?美國MKS真空計模擬輸出2分辨率：12位
?數字波特率：4800-230400波特率
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